신소재공학과 권오준(석사 2년, 지도교수 조병진)씨가 지난 11월 13일(일)부터 11월 16일(수)까지 파라다이스호텔 부산에서 개최된 반도체 국제학술대회인‘Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2022(KISM 2022)’에서 ‘우수 논문상(Best Paper Award)’을 수상했다.

권오준씨는 ‘Tunable resistive switching based on sulfur vacancy engineering of polycrystalline MoS2(다결정 MoS2의 황 공공 엔지니어링에 기반한 저항 변화 스위칭 특성 제어 연구)’라는 주제로 발표해 Electronic Materials, Devices and Related Technology(전자소재, 소자 관련기술) 분과에서 수상 했다.

권오준씨가 발표한 연구 주제는 화학기상증착법을 통해 대면적 합성된 2차원 다결정 MoS2 박막 내부에 존재하는 황 공공의 농도를 산소 플라즈마 처리 기법으로 안정적으로 조절 가능하며, 이에 따라 멤트랜지스터의 저항 변화 스위칭 특성 제어에 대한 것이다.

멤트랜지스터의 저항 변화 스위칭 특성은 외부 전계에 의한 MoS2 결정립내 황 결함의 이동에 의해 발현되는데, MoS2 멤트랜지스터는 황 공공의 농도 제어가 어려워 멤트랜지스터의 신뢰성 확보에 어려움이 있었다. 해당 연구에서 보고된 산소 플라즈마 표면 처리 기술은 MoS2 멤트랜지스터의 전기적 신뢰성을 확보할 수 있을 뿐만 아니라 시냅스 가소성의 정밀한 제어를 가능하게 하여 향후 차세대 뉴로모픽 시스템의 핵심적인 공정 기술로 활용이 가능할 것으로 예상된다.

한편, 한국반도체디스플레이기술학회가 개최한 이번 국제학술대회는 ‘Manufacturing Strategies for First Mover(퍼스트무버가 되기 위한 제조전략)’라는 주제로 개최돼, 7개의 분과에서 초청강연 및 신진연구자 발표가 마련되어 반도체 제조 기술에 관한 최신 연구 결과가 공유되었다.

 

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